中微公司2023/24/25限制性股票激励归属暨522万股(0.551%)将于7月1日上市流通

证券代码：688012
证券简称：中微公司
公告编号：2026-065
中微半导体设备（上海）股份有限公司
关于2023、2024、2025 年限制性股票激励计划
归属结果暨股份上市的公告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈
述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。
重要内容提示：

本次股票上市类型为股权激励股份；股票认购方式为网下，上市股数为
5,224,051股。
本次股票上市流通总数为5,224,051股。

本次股票上市流通日期为2026 年7 月1 日。
根据中国证监会、上海证券交易所、中国证券登记结算有限责任公司上海分公
司有关业务规则的规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司于近日收到中国证
券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，公司于2026 年
6 月25 日完成了2023 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024 年限制性股票
激励计划第二个归属期、2025 年限制性股票激励计划第一个归属期的股份登记工
作。现将有关情况公告如下：
一、本次限制性股票归属的决策程序及相关信息披露
（一）2023 年限制性股票激励计划
（1）2023 年3 月30 日，公司召开第二届董事会第十一次会议，会议审议通
过了《关于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公
司<2023 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东
大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划
相关议案发表了独立意见。
同日，公司召开第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于公司<2023 年限
制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023 年限制性股票激励

计划实施考核管理办法>的议案》
《关于核实公司<2023 年限制性股票激励计划激励
对象名单>的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关
核查意见。
（2）2023 年3 月31 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2023-017），根据公司
其他独立董事的委托，独立董事陈世敏先生作为征集人就2022 年年度股东大会审
议的公司2023 年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。
（3）2023 年4 月4 日至2023 年4 月13 日，公司对本激励计划拟激励对象的
姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划
激励对象有关的任何异议。2023 年4 月14 日，公司于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2023 年限制性股票激励计划激励对
象名单的公示情况说明及核查意见》。
（4）2023 年4 月20 日，公司召开2022 年年度股东大会，审议并通过了《关
于公司<2023 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2023
年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事
会办理股权激励相关事宜的议案》。
（5）2023 年4 月21 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
《关于公司2023 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查
报告》。
（6）2023 年6 月12 日，公司召开第二届董事会第十五次会议与第二届监事
会第十三次会议，审议通过了《关于调整公司2023 年限制性股票激励计划相关事
项的议案》
《关于向2023 年限制性股票激励计划激励对象授予限制性股票的议案》。
公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了
核查意见。
（7）2023 年10 月26 日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事
会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020 年、2022 年及2023 年限制性
股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。
（8）2024 年6 月12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监
事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020 年、2022 年及2023 年限

制性股票激励计划相关事项的议案》《关于作废处理2023 年限制性股票激励计划
部分限制性股票的议案》《关于公司2023 年限制性股票激励计划第一个归属期符
合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（9）2025 年5 月28 日，公司召开第三届董事会第四次会议和第三届监事会
第四次会议，审议通过了《关于作废处理2023 年限制性股票激励计划部分限制性
股票的议案》《关于公司2023 年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件
的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（10）2026 年3 月30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关
于调整公司2022 年、2023 年、2024 年及2025 年限制性股票激励计划相关事项的
议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（11）2026 年6 月3 日，公司召开第三届董事会第十三次会议，审议通过了
《关于作废处理2023 年、2025 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》
《关于调整公司2023 年、2024 年、2025 年及2026 年限制性股票激励计划相关事
项的议案》《关于公司2023 年限制性股票激励计划第三个归属期、2025 年限制性
股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前
述事项进行核实并发表了核查意见。
（二）2024 年限制性股票激励计划
（1）2024 年3 月27 日，公司召开第二届董事会第二十一次会议，会议审议
通过了《关于公司<2024 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于
公司<2024 年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股
东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。
同日，公司召开第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于公司<2024 年
限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024 年限制性股票激
励计划实施考核管理办法>的议案》
《关于核实公司<2024 年限制性股票激励计划激
励对象名单>的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出
具了相关核查意见。
（2）2024 年3 月28 日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2024-023）。根据公司
其他独立董事的委托，独立董事陈世敏博士作为征集人就2023 年年度股东大会审
议的股权激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

（3）2024 年3 月28 日至2024 年4 月10 日，公司对本激励计划拟激励对象
的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司监事会未收到任何员工
对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2024 年4 月11 日，公司于上海
证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2024 年限制性股票
激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。
（4）2024 年4 月17 日，公司召开2023 年年度股东大会，审议并通过了《关
于公司<2024 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2024
年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事
会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。
（5）2024 年4 月18 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于公司2024 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自
查报告》。
（6）2024 年4 月26 日，公司召开第二届董事会第二十三次会议与第二届监
事会第二十次会议，审议通过了《关于调整公司2024 年限制性股票激励计划相关
事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对前述事项进
行核实并发表了核查意见。
（7）2024 年6 月12 日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监
事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020 年、2022 年、2023 年及
2024 年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表
了核查意见。
（8）2025 年4 月17 日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会
第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022 年、2024 年限制性股票激励计划部
分限制性股票的议案》、《关于2022 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024 年
限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行
核实并发表了核查意见。
（9）2026 年3 月30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关
于调整公司2022 年、2023 年、2024 年及2025 年限制性股票激励计划相关事项的
议案》。
（10）2026 年4 月23 日，公司召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了
《关于作废处理2024 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、
《关于2024

年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委
员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。
（11）2026 年6 月3 日，公司召开第三届董事会第十三次会议，审议通过了
《关于调整公司2023 年、2024 年、2025 年及2026 年限制性股票激励计划相关事
项的议案》。
（三）2025 年限制性股票激励计划
（1）2025 年4 月17 日，公司召开第三届董事会第二次会议，会议审议通过
了《关于<2025 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于<2025 年
限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董
事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。董事会薪酬与考核委员会对本激励计
划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。
（2）2025 年5 月8 日至2025 年5 月18 日，公司对本激励计划拟激励对象的
名单在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司未收到任何员工对本次拟首次授
予激励对象名单提出的任何异议。2025 年5 月21 日，公司于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）披露了《董事会薪酬与考核委员会关于公司2025 年限制性股
票激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。
（3）2025 年5 月28 日，公司召开2024 年年度股东大会，审议并通过了《关
于<2025 年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于<2025 年限制性
股票激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股
权激励相关事宜的议案》等议案。
（4）2025 年5 月29 日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露
了《关于公司2025 年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自
查报告》。
（5）2025 年6 月10 日，公司召开第三届董事会第五次会议，审议通过了《关
于调整公司2025 年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次
授予限制性股票的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了
核查意见。
（6）2026 年3 月30 日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关
于调整公司2022 年、2023 年、2024 年及2025 年限制性股票激励计划相关事项的
议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

（7）2026 年6 月3 日，公司召开第三届董事会第十三次会议，审议通过了
《关于作废处理2023 年、2025 年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》
《关于调整公司2023 年、2024 年、2025 年及2026 年限制性股票激励计划相关事
项的议案》《关于公司2023 年限制性股票激励计划第三个归属期、2025 年限制性
股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前
述事项进行核实并发表了核查意见。
二、本次限制性股票归属的基本情况
（一）归属数量：5,224,051 股。
（二）归属人数：2342 人。
（三）股票来源：公司向激励对象定向发行公司A 股普通股股票。
（四）本次归属的股份情况：
1、2023 年限制性股票激励计划
姓名
国籍
职务
已获授予的
限制性股票
数量（万
股）
本次归属数
量（万股）
本次归属数量
占已获授予的
限制性股票总
量的比例
一、董事、高级管理人员
尹志尧
中国
董事长、总经理、核
心技术人员
16.4943
4.1236
25%
丛海
新加坡
董事、副总经理、核
心技术人员
4.8872
1.2218
25%
陶珩
中国
董事、副总经理、核
心技术人员
6.6305
1.6576
25%
陈伟文
中国香港
副总经理、财务负责
人
6.6305
1.6576
25%
姜银鑫
中国
副总经理
3.3536
0.8384
25%
二、核心技术人员
姜勇
中国
核心技术人员
2.4951
0.6238
25%
陈煌琳
中国台湾
核心技术人员
3.4649
0.8663
25%
刘志强
新加坡
核心技术人员
3.4098
0.8525
25%
何伟业
中国
核心技术人员
1.8712
0.4679
25%
张凯
中国
核心技术人员
2.5152
0.6288
25%
小计
51.7523
12.9383
25%
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（1140 人）
630.6125
157.4849
25%
合计（1150 人）
682.3648
170.4232
25%

2、2024 年限制性股票激励计划
姓名
国籍
职务
已获授予的
限制性股票
数量（万
股）
本次归属数
量（万股）
本次归属数量
占已获授予的
限制性股票总
量的比例
一、董事、高级管理人员
/
/
/
/
/
/
二、核心技术人员
/
/
/
/
/
/
小计
/
/
/
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（1 人）
0.8004
0.2001
25%
合计（1 人）
0.8004
0.2001
25%
3、2025 年限制性股票激励计划
姓名
国籍
职务
已获授予的
限制性股票
数量（万
股）
本次归属数
量（万股）
本次归属数量
占已获授予的
限制性股票总
量的比例
一、董事、高级管理人员
尹志尧
中国
董事长、总经理、核心
技术人员
18.6250
4.6562
25%
丛海
新加坡
董事、副总经理、核心
技术人员
14.9000
3.7250
25%
陶珩
中国
董事、副总经理、核心
技术人员
7.4500
1.8625
25%
陈伟文
中国香港
副总经理、财务负责人
9.5360
2.3840
25%
何奕
中国
副总经理
7.4500
1.8625
25%
姜银鑫
中国
副总经理
7.4500
1.8625
25%
靳巨
美国
副总经理
9.5360
2.3840
25%
刘方
中国
副总经理、董事会秘书
14.9000
3.7250
25%
二、核心技术人员
姜勇
中国
核心技术人员
3.7995
0.9498
25%
陈煌琳
中国台湾
核心技术人员
3.7995
0.9498
25%
刘志强
新加坡
核心技术人员
8.2695
2.0673
25%
何伟业
中国
核心技术人员
3.7995
0.9498
25%
张凯
中国
核心技术人员
3.7995
0.9498
25%
小计
113.3145
28.3282
25%
三、其他激励对象
董事会认为需要激励的其他人员（2323 人）
1295.1613
323.4536
25%

合计（2336 人）
1408.4758
351.7818
25%
三、本次限制性股票归属股票的上市流通安排及股本变动情况
（一）本次归属股票的上市流通日：2026 年7 月1 日
（二）本次归属股票的上市流通数量：5,224,051 股
（三）董事和高级管理人员本次归属股票的限售和转让限制
1、激励对象为公司董事、高级管理人员的，限售规定按照《公司法》《证券法》
《上市公司董事和高级管理人员所持本公司股份及其变动管理规则》《关于短线交
易监管的若干规定》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》的规定执行。
2、在激励计划有效期内，如果《公司法》《证券法》等相关法律、法规、规范
性文件和《公司章程》中对公司董事和高级管理人员持有股份转让的有关规定发生
了变化，则这部分激励对象转让其所持有的公司股票应当在转让时符合修改后的
《公司法》《证券法》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》的规定。
（四）本次股本变动情况
单位：股
变动前
本次变动
变动后
股本总数
947,461,532
5,224,051
952,685,583
由于本次限制性股票归属后，公司股本总数由947,461,532 股增加至
952,685,583 股。本次归属未导致公司控制权发生变更。
四、验资及股份登记情况
大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2026 年6 月17 日出具了《中微半导
体设备(上海)股份有限公司验资报告》
（大华验字[2026]0011000155 号）对公司2023
年限制性股票激励计划第三个归属期、2024 年限制性股票激励计划第二个归属期、
2025 年限制性股票激励计划第一个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行
了审验。
经审验，截至2026 年6 月16 日止，中微半导体已收到本次2342 名限制性股
票激励对象缴纳的出资款人民币290,664,746.26 元，其中计入“股本”金额为人民
币5,224,051.00 元，限制性股票激励对象以货币资金出资。
根据中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，
公司已于2026 年6 月25 日完成2023 年限制性股票激励计划第三个归属期、2024

年限制性股票激励计划第二个归属期、2025 年限制性股票激励计划第一个归属期
的股份登记手续。
五、本次归属后新增股份对最近一期财务报告的影响
根据公司2026 年第一季度报告，公司2026 年第一季度实现归属于上市公司
股东的净利润930,487,319.17 元，公司2026 年第一季度基本每股收益为1.48 元/
股；本次归属后，以归属后总股本952,685,583 股为基数计算，在归属于上市公司
股东的净利润不变的情况下，公司2026 年第一季度基本每股收益将相应摊薄。
本次归属的限制性股票数量为5,224,051 股，约占归属前公司总股本的比例为
0.551%，对公司最近一期财务状况和经营成果均不构成重大影响。
特此公告。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
2026 年6 月27 日