램리서치, 비씨엔씨 상대 에지링 디자인침해 소송 1심 일부 승소…비씨엔씨 항소 예정

세계 식각장비 1위 램리서치가 비씨엔씨를 상대로 제기한 반도체 공정 에지 링 디자인침해소송에서 일부 승소 했다. 쟁점 디자인 2건은 특허심판원에서 유효라는 판단이 나왔기 때문에 일단 램리서치가 유리한 고지를 점했다. 서울중앙지방법원은 8일 램리서치가 지난 2024년 1월 비씨엔씨를 상대로 제기한 디자인침해소송과 관련해 원고인 램리서치의 일부 승소라고 판결했다. 비씨엔씨는 애프터마켓 업체다. (사진=비씨엔씨) 링은 식각장비에 사용하는 소모성 실리콘 부품이다. 식각장비 안에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 나가지 않도록 가두는 역할을 한다. 링은 주로 내플라즈마·내열성이 우수한 쿼츠 재질을 사용한다. 비씨엔씨는 램리서치가 2024년 1월 디자인침해소송을 제기하자, 2024년 11월 램리서치 디자인 '반도체 제조장치용 에지 링' 2건(등록번호 1026248·1026250)을 상대로 특허심판원에 무효심판을 청구했다. 하지만 특허심판원은 2026년 5월 해당 디자인 2건이 유효라고 판단(심결)했다. 비씨엔씨는 심결에 불복하고 2026년 8월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 비씨엔씨는 램리서치 특허 3건을 상대로도 분쟁 중이다. 비씨엔씨는 2024년 11월부터 2025년 4월 사이 특허심판원에 램리서치 특허 3건에 대해 무효심판을 청구했다. 특허심판원은 3건 중 2건(하단 링 및 중간 에지 링, 등록번호 2182298·2254224)은 무효라고 심결했고, 나머지 1건(기판 프로세싱 시스템을 위한 감소된 커패시턴스 변화를 갖는 이동식 에지 링들, 등록번호 2646633)은 유효라고 심결했다. 이들 심결에 대해선 램리서치와 비씨엔씨가 각각 불복하고 2025년 10~12월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. (자료: 키프리스 / 정리: 지디넷코리아) 두 업체가 다투고 있는 램리서치 특허 3건과 디자인 2건 가운데, 특허 3건이 최종 무효로 판단돼도 디자인이 유효라는 최종 판결, 그리고 비씨엔씨가 해당 디자인을 침해했다는 최종 판결이 나오면 비씨엔씨는 링을 다시 설계해야 할 수 있다. 비씨엔씨 사업에 미칠 영향은 분쟁 대상 품목이 비씨엔씨 전체 링 매출에서 차지하는 비중에 비례한다. 현재 진행 중인 특허 ·디자인 분쟁이 일단락된 뒤 램리서치가 관련 분쟁을 확대할지도 관심사다. 일반적으로 특허권자는 앞선 분쟁에서 유효성이 확인된 특허를 활용해 비슷한 분쟁을 제기한다. 상대와 협상을 빨리 끝낼 수 있기 때문이다. 램리서치는 삼성전자와 SK하이닉스 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 여러 국내 애프터마켓 업체와 산업재산권(특허 ·디자인 등) 분쟁 중이다. 비씨엔씨 외에 월덱스, 플라텍, 윌비에스엔티, SHM(옛 원세미콘), CMTX(씨엠티엑스) 등이 램리서치와 싸우고 있다. 램리서치는 국내 애프터마켓 업체를 상대로 2020년대 초반부터 특허침해를 경고하고, 침해소송을 제기했다. 반도체 식각장비 시장에선 램리서치 외에 도쿄일렉트론이 주요 업체다. 도쿄일렉트론도 삼성전자 등에 식각장비를 공급한다.