恒运昌披露机构调研纪要，内容为营收结构、客户、产能和射频电源国产化情况的例行介绍

证券代码：688785
证券简称：恒运昌
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
投资者关系活动记录表
编号：2026-013
投资者关系活动
类别
☑特定对象调研□分析师会议
□媒体采访□业绩说明会
□新闻发布会□路演活动
□现场参观
□其他（请文字说明其他活动内容）
参与机构名称
易方达基金、兴业证券、华商基金、天风证券、华泰资产、青骊投
资
时间
7.9 10:00-11:00 兴业证券、华商基金
14:00-15:00 天风证券、华泰资产
7.10 10:00-11:00 易方达基金、青骊投资
地点
深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋
公司接待人员
姓名
董事会秘书庄丽华
投资者关系专员郝一骏
投资者关系活动
主要内容介绍
1. 请问公司目前的营收结构、在手订单及客户拓展情况如何？
回答：2025年公司实现营业收入约5.29 亿元，以来自自研产品的
收入为主，主要客户为拓荆科技、宏大真空、中微公司、北方华创
、微导纳米等。截至公司2025年年度报告披露日，公司持有尚未交
付的在手订单共约1.57 亿元。公司将充分发挥研发和技术优势，
结合市场发展前景和客户需求，不断进行新产品的研发设计，结合
公司丰富的技术和生产经验，加快推动更先进工艺制程等离子体射
频电源系统的产业化应用，为客户提供性能更优、可靠性更高的产
品，推进公司长期稳定发展。同时，公司还将积极推动主营业务产
品向光伏、显示面板、精密光学等领域的拓展，不断提升公司产品
性能与质量，并拓宽公司产品品类，致力于成为围绕等离子体工艺
提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，助力公司长期稳定发
展。
2. 请介绍一下公司产品等离子体射频电源系统的应用领域与产品特
点
回答：公司的等离子体射频电源系统被广泛应用于半导体工艺中的
薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，并应用于光
伏电池片的薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜、常压等离子
体清洗等工业生产环节。半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、

一代设备”的产业规律，等离子体射频电源系统等核心部件需要得
到设备商及晶圆厂的双重认证。同时，等离子体射频电源系统定制
化程度较高，在公司与下游设备厂商合作过程中，一般由下游客户
向公司提供产品技术指标要求和功能要求，公司根据客户需求自主
研发新产品并制作样机供下游客户验证。
半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，等离子体射频
电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，且需经过
精密的校准和严格的测试流程，以确保性能的一致性和长期稳定性
。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，并成为薄
膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。历经十余年，
公司先后推出CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar 四代产品系列
等离子体射频电源系统。截至2025年年底，公司第四代等离子体射
频电源系统Cedar 系列处于验证状态，该产品将射频电源和匹配器
整合为一体化平台，配备多个中心阻抗应用、可实现快速数据及大
数据采集等功能，可支撑更先进制程。
3. 请介绍一下公司的技术优势
回答：经过十多年的持续正向研发、不断创新和积累，公司建立了
“基石技术+产品化支撑技术”的技术体系，一方面从测量、控制及
架构三方面构建的底层通用的3 大基石技术，并基于基石技术，结
合半导体设备中应用，特别是先进制程中更快速、更精准、更稳定
的应用诉求和实现难点，发展出8 大产品化支撑技术，实现了突破
高端等离子体射频电源系统的先进设计、测量和控制等难题，掌握
了信号采样及处理、相位同步锁定、快速调频、脉冲控制等等离子
体射频电源系统运行中的关键技术。截至2025年年底，公司已授权
专利共296 项，包括发明专利123 项，实用新型专利72 项，外
观设计专利101 项。截至2025 年年底，公司已累计申请490 项
专利，其中发明专利262 项，占比53.47%。
4. 请介绍一下等离子体射频电源系统的市场格局
回答：等离子体射频电源系统行业在多个下游应用领域中发挥着重
要作用，包括半导体、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗设备和科
研仪器等；其中，半导体是中国大陆等离子体射频电源系统行业最
大的下游应用领域。2024 年，中国大陆等离子体射频电源系统市场
规模达120.4亿元。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市
场仍呈现海外巨头高度垄断的竞争格局。根据弗若斯特沙利文统计
，2024年，中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率
不足12%。
5. 请介绍一下公司目前的产能情况及未来产能布局
回答：2025年公司产能利用率达98.51%。公司通过多个措施提升产
能，包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设
与正式运营，助力其实现从试产到量产的跨越；同时推进深圳产能
建设，加速产能落地；公司未来将逐步推进半导体与真空装备核心
零部件智能化生产运营基地项目的建设，这些都将有助于后续产能
的释放，为公司产能持续提升奠定基础。
6. 公司海外客户的拓展情况如何？公司后续是否有出海计划？
回答：截至2025年底，公司境外收入占2025年营业收入中的极少部分。
公司于2025年11月在德国设立全资子公司。在未来发展规划上，德

国恒运昌将作为恒运昌全球化布局中的重要战略支点，承担海外研
发、技术融合、市场拓展三大职能，助力半导体设备核心零部件从
“引进来”到“走出去”。截至2025年底，公司也获得了部分海外
专利。
以上如涉及公司所处行业发展趋势、公司发展规划等相关内容，不代表公司或公司管理层对行
业发展、公司发展或业绩的预测和承诺，不构成公司或公司管理层对投资者的实质性承诺，敬
请广大投资者注意投资风险。